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奥林巴斯自动晶圆搬送机AL120-12
| 产品型号： |
AL120-12 |
| 品 牌： |
奥林巴斯 |
|
|
| 所 在 地： |
上海 |
| 更新日期： |
2025-04-30 |
| | 品牌：奥林巴斯 | | 加工定制：否 | | 型号：AL120-12 | |
| | 重量：- kg | | 适用范围：半导体检查显微镜MX61L | | 用途：半导体检查 | |
| | 外形尺寸：- mm | | 材质：- | | 规格型号：- | |
AL120-12自动晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。
奥林巴斯 自动晶圆搬送机 AL120-12概述：
★人机工程学设计，操作方便
●可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
●分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。
★坚固、可靠和安全传送
●延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
●薄片，Warped晶圆皆能安全搬送。
●宏观观察位置的z*优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。
奥林巴斯 自动晶圆搬送机 AL120-12技术规格：
| 自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格 |
| |
AL120-LMB12-LP3 |
AL120-LMB12-F |
| 晶圆尺寸 |
300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm |
| 卡盒 |
●FOUP（Front Opening Unified Pods）前开门标准夹
●SEMI：E47.1-0200规格产品
●FIMS-FOSB, FOSB |
●FOSB（Front Opening Shipping Box）前开门搬运盒
●SEMI：M31-0999规格产品 |
| 卡盒数 |
单盒（装载、卸载兼用） |
| 卡盒设置高度 |
900 mm |
| 装载端口 |
有 |
无 |
| 搬运顺序 |
表面宏、内面宏、显微镜检查 |
| 检查模式 |
全部检查、抽样检查 |
| 晶圆校准 |
非接触式中心环 |
| 晶圆搬运方式 |
真空吸附机械搬运 |
| 适用显微镜 |
半导体检查显微镜MX61L |
| 应用环境 |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa
压缩空气0.5MPa～0.6MPa |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa |
| 载物台 |
XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构 |
| 重量（不包括显微镜） |
约360 kg |
约270 kg |
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